一、應(yīng)用領(lǐng)域：
等離子刻蝕機(jī)清洗機(jī)用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機(jī)電源屬于150W13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。

二、等離子清洗的方式：
（1）常規(guī)的清洗方法不能*將材料表面薄膜去除，而會(huì)留下一層很薄的雜質(zhì)層，而且溶劑清洗就是這類(lèi)典型例子。  

（2）等離子清洗器使用就是通過(guò)等離子體對(duì)材料表面的轟擊，輕柔地和*地對(duì)表面擦洗。  

（3）等離子清洗將除去不可見(jiàn)的油膜、微小的銹跡和其它由于用戶接觸室外暴露等等在表面形成的這類(lèi)污物，而且，等離子清洗不會(huì)在表面留下殘余物。

（4）等離子清洗器能夠處理多種類(lèi)型材料：包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何形狀各異的表面。

（5）等離子清洗器的優(yōu)點(diǎn)在于它不但能清洗掉表面的污物，而且還能增強(qiáng)材料表面的粘附性能。

三、聚合物清洗原理介紹：  

①聚合物的表面清洗  

·等離子消融作用通過(guò)高能的電子和離子對(duì)材料表面的轟擊，機(jī)械地去除污物層。  

·等離子表面清洗可去除可能存在于某些加工過(guò)的聚合物的污物層，不需要的聚合物表面涂層和弱的邊界層。  

②聚合物的表面重組  

·等離子消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。  

·聚合物表面的自由官能團(tuán)重新成鍵形成原始的聚合物結(jié)構(gòu)，也能與在相同的聚合物鏈上鄰近的自由官能團(tuán)成鍵，或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團(tuán)成鏈。  

·聚合物表面結(jié)構(gòu)重組能夠改進(jìn)表面的硬度和化學(xué)抗性。  

③聚合物的表面改性  

·等離子消融作用破壞了聚合物表面的化學(xué)鍵，從而導(dǎo)致聚合物表面自由官能團(tuán)的形成。  

·基于等離子過(guò)程氣體的化學(xué)性質(zhì)，這些表面自由官能團(tuán)與等離子中原子或化學(xué)基的連接形成了新的聚合物功能組，代替舊的表面聚合物功能組。  

·聚合物表面改性能夠改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)，而材料整體性質(zhì)不會(huì)改變。  

④聚合物的表面鍍膜  

·等離子鍍膜是通過(guò)過(guò)程氣體的聚合作用在材料基層表面形成一層薄的等離子涂層。  

·如果被使用的生產(chǎn)氣體由復(fù)合分子組成，如：甲烷、四氟化物、碳，那么他們?cè)诘入x子態(tài)將破裂，形成自由的官能單體，這些官能單體將在聚合物表面成鍵和重新化合在聚合物表面鍍膜。

·這種聚合物表面涂層能明顯地改變表面的滲透性和磨擦性。

四、等離子刻蝕機(jī)清洗機(jī)鄭州科探儀器KT-S2DQX參數(shù)：